山东有研刻蚀设备用硅材料项目通线量产

　　10月16日，山东有研刻蚀设备用硅材料项目通线量产，这是全省首条集成电路刻蚀设备用硅材料生产线。

　　据悉，山东有研刻蚀设备用硅材料项目总投资3.57亿元，主要生产大尺寸单晶硅部件加工品，全部达产后年新增硅材料204吨。“刻蚀设备用硅材料部件是晶圆制造刻蚀环节所需的核心耗材，主要用于生产8至12英寸的等离子刻蚀机。”山东有研艾斯半导体材料有限公司总经理闫志瑞介绍，此前中国有研科技集团有限公司（以下简称有研集团）一直生产刻蚀设备用硅部件半成品，在德州建立生产基地后，开始布局全产业链成品制作。

　　作为“有研系”在德州布局的重点延链补链项目之一，山东有研刻蚀设备用硅材料项目对于完善山东省集成电路产业格局、填补省内该领域空白意义重大，并将有力改变国内刻蚀设备用硅材料依赖进口的局面。“硅片生产处于集成电路产业的上游环节，附加值最大的在芯片制造中端环节。刻蚀用单晶硅材料属于半导体单晶硅材料生产领域的另一主线，我们就这一主线作延展。现在，我们不仅能制造加工刻蚀用单晶硅材料，还能生产相关成品部件，全产业链布局可以直面终端刻蚀机厂商，提升了市场附加值，在细分领域赛道中增加了竞争力。”闫志瑞说。

　　眼下，有研集团已在德州投资近百亿元，共布局7个产业链项目，集聚打造了占地1000亩的集成电路关键材料基地。