青岛思锐智能半导体先进装备研发制造中心投产

　　6月27日，青岛思锐智能半导体先进装备研发制造中心在青岛自贸片区投产。该中心的投产填补了青岛市在半导体核心装备领域的空白，标志着青岛在半导体产业自主创新和高端装备制造领域迈出重要一步。

　　作为2024年度和2025年度山东省重大项目及青岛市重点项目，青岛思锐智能半导体先进装备研发制造中心项目总建筑面积达8.6万平方米，聚焦原子层沉积镀膜（ALD）和离子注入机（IMP）两大核心半导体前道设备的研发与量产。

　　青岛思锐智能科技股份有限公司（以下简称思锐智能）由中国中车集团及旗下基金通过深度“产融结合”的方式联合发起设立，主要业务包括原子层沉积设备及离子注入设备，广泛应用于集成电路、以功率与化合物为代表的第三代半导体、新能源、光学、生物医学等诸多高精尖领域。

　　青岛自贸片区管委副主任隋斌表示，思锐智能是目前国内唯一一家同时提供离子注入机和原子层沉积设备并实现关键技术自主突破的高科技企业。项目从建设到投产仅用一年时间，进一步完善了青岛市集成电路产业链布局，对产业升级具有重要的示范引领作用。

　　思锐智能董事长聂翔介绍，青岛思锐智能半导体先进装备研发制造中心不仅是一座年产百台设备的生产基地，更是构建“技术—制造—生态”闭环的关键节点。公司将依托该中心加速突破ALD、IMP等关键技术瓶颈，深化在集成电路、功率化合物等领域的布局。同时，思锐智能将持续加大研发投入，深化与政府、高校及海外机构的合作，打造全球领先的研发验证平台和人才聚集区，助力中国半导体产业链自主可控。

　　思锐智能所在的青岛市集成电路产业园自2022年11月揭牌成立以来，已累计集聚产业链上下游项目46个，总投资约1803亿元，涵盖设计、制造、封测、材料、设备等全产业领域，带动青岛市跻身全球集成电路产业综合竞争力百强城市第81位。